【编号】2020-17
　　【题名】基于大面积TFT和PVDF薄膜的表面形貌无损探测技术
　　【作者】尚飞，胡潇然，张千等
　　【机构】电子科技大学材料与能源学院
　　【刊名】电子科技大学学报（2020年02期）
　　【文摘】针对物体表面形貌无损探测,提出了一种基于大面积薄膜晶体管(TFT)和聚偏氟乙烯(PVDF)薄膜的表面形貌探测方法,具有大面积、可覆形、便携化和高精度的特点。该方法利用电容传感器原理,将已广泛应用于半导体显示领域的TFT阵列与传感器相结合,可精确定位物体表面微米级缺陷,测量分辨率达到50μm,实现了对物体表面形貌的精准无损探测。