【编号】2020-39
　　【题名】氮离子注入对聚四氟乙烯表面电荷积聚和消散特性的影响
　　【作者】刘畅，宋法伦，朱明冬等
　　【机构】中国工程物理研究院应用电子学研究所，高功率微波技术重点实验室；中国工程物理研究院研究生院；哈尔滨工业大学先进焊接与连接国家重点实验
　　【刊名】强激光与粒子束（2020年07期）
　　【文摘】为了抑制聚四氟乙烯材料表面电荷积聚，采用射频产生氮等离子体对其表面进行等离子体浸没离子注入以改善其表面性能。对注入前后的聚四氟乙烯材料样品进行了X射线光电子能谱分析(XPS)、傅里叶红外光谱测试(FTIR)、水接触角测量、表面电阻率测量以及表面电位衰减测量，并基于等温表面电位衰减理论对其表面陷阱能级和密度分布进行了计算，以分析聚四氟乙烯样品经离子注入处理后其表面成分和物理性能的变化，并研究了这些变化对聚四氟乙烯样品表面电荷积聚和消散特性的影响。结果表明：氮离子注入后，聚四氟乙烯材料表面化学成分的主要变化是自身分子结构的破坏和转化，部分CF2结构转变为CF和CF3结构，导致样品表面陷阱能级变浅；水接触角升至140°左右，比未处理样品上升了约27°，表面电阻率降至3×1015Ω，比未处理样品下降了两个数量级；表面电晕放电1min后，经氮离子注入处理的聚四氟乙烯材料表面积聚电荷量减少，消散速度加快，这是因为表面陷阱能级变浅有利于表面电荷脱陷，同时表面电阻率降低也促进了表面电荷沿面传导的消散过程，聚四氟乙烯样品表面陷阱能级分布曲线也证实了这一论点。