【编号】2023-26

【题名】高介电常数超薄PTFE/TiO₂复合薄膜的厚度均匀性研究

【作者】金霞，冯春明，贾倩倩等

【机构】中国电子科技集团公司第四十六研究所

【刊名】塑料科技（2023年04期）

【文摘】采用涂覆工艺制备聚四氟乙烯/二氧化钛(PTFE/TiO₂)复合薄膜，针对TiO₂粉体密度大容易沉降问题，探究浆料总量、浆料黏度、涂覆速率的压力差等因素对成膜厚度均匀性的影响。结果表明：在涂覆速度为0.20m/s条件下，浆料黏度范围为969～1139mPa•s(测试转速20r/min)时，制备了目标厚度(55±10)μm的PTFE/TiO₂复合薄膜。通过扫描电镜观察，PTFE/TiO₂复合薄膜的表面均匀平整，TiO₂分散性良好,成膜质量良好。复合薄膜的相对介电常数、薄膜拉伸强度、断裂伸长率的离散系数均≤5％，证明制备的薄膜的介电性能和力学性能一致性良好。