【编号】2016-66
　　【题名】基于PVDF的柔性压力传感器阵列的制备及仿真研究
　　【作者】卢凯，黄文，刘思祎等
　　【机构】电子科技大学 电子薄膜与集成器件国家重点实验室；清华大学 工程力学系
　　【刊名】电子元件与材料（2016年03期）
　　【文摘】采用湿法刻蚀制备了基于PVDF薄膜的柔性4×4压力传感器阵列，该传感器具有16个毫米尺寸的电容器单元。使用光学显微镜、原子力显微镜观测了传感器表面形貌，显示电极阵列的界面清晰，PVDF薄膜表面形貌平整。力电耦合效应测试的结果显示传感器的应力输入和电压输出具备高的信噪比和良好的线性关系，力电响应为12×10–3V/kPa。受力-空载响应输出显示，对传感器施加20~80kPa范围的脉冲压力，得到了输出0.26~0.98 V的电压信号，并且放电时间少于2.5ms。结合仿真计算研究了传感器阵列之间的电势信号影响，结果表明相邻阵列单元间的信号干扰随着阵列所受压力增加而增加并且呈现线性关系，干扰信号为0.028×10–3V/kPa，在1.4mm2尺寸时，低于178kPa压力所产生的干扰信号可以近似忽略。