【编号】2019-67
　　【题名】基于PVDF的高压电性薄膜制备工艺研究
　　【作者】陈宝成, 覃双, 张旭, 孙权, 张鹏
　　【机构】中国电子科技集团公司第四十九研究所；中国工程物理研究院流体物理研究所
　　【刊名】传感器与微系统（2019年10期）
　　【文摘】针对国内的聚偏二氟乙烯(PVDF)压电传感器仅限于实验室阶段,仍需要大量进口的现状,通过对PVDF压电特性分析,结合传感器产品的结构,进行PVDF压电传感器的制备工艺的研究.对工艺过程中的初始薄膜制备、单轴拉伸、高压极化和磁控溅射等主要工艺进行制备工艺参数的探索,获得了PVDF压电敏感薄膜,并采用聚酰亚胺材料进行封装,得到PVDF压电传感器.对该传感器进行关键参数静态压电系数d33的测试,结果为13.1PC/N,获得了满足实际工程使用的PVDF压电传感器产品.