【编  号】96/续173
　　【题　名】有机薄膜场效应晶体管的研制
　　【关键词】有机薄膜晶体管 铜酞菁 聚四氟乙烯 全蒸镀法 银电极 氧化铟锡
　　【文　摘】采有聚四氟乙烯充当绝缘材料，利用全蒸镀法制备得到了有机薄膜场效应晶体管，源极和漏极采用氧化铟锡，并导体层和绝缘层分别由铜酞菁和聚四氟乙烯充当，栅极采用银电极。在利用光刻制备沟道长度为50μm的源极和漏极后，依次真空沉积铜酞菁层，聚四氟乙烯层和银层，得到器件的电子迁移率为1．1×10^-6cm^2·（V·s^-1)，开关电流比大于500。