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黎明化工院承担国家科技重大专项进展顺利

2016-06-06

协会成员动态:黎明化工研究设计院有限责任公司

公司承担国家科技重大专项进展顺利


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日前获悉,公司承担的国家科技重大专项“极大规模集成电路制造装备与成套工艺”之子项目“高纯四氟化碳和六氟化硫研发与中试”,项目研发进展顺利,部分技术已实现产业化应用。

公司接到国家相关项目立项批复后,积极选调科研人员,组建项目团队。项目团队在现有氟化物工艺基础上,勇克难关,不断突破产物合成、精制提纯、杂物分析、洁净充装等关键技术,并投入300余万元建成标准化洁净间,保证产品质量,也为公司含氟电子气体产品的推广搭建良好的展示平台。

截止日前,公司已完成高纯六氟化硫和高纯四氟化碳生产试验,试制出满足指标要求的产品,并通过客户验证,并完成5项专利申请(其中发明专利3项,实用新型专利2项),发表研究论文3篇。

在研发基础上,公司高纯六氟化硫已实现工业化生产,产能已由最初的年产50吨逐步改扩建为1000吨/年,年产值5000万以上,电子级四氟化碳产品也提交客户使用,市场反应良好。

公司相关负责人认为,在工业六氟化硫市场竞争加剧、产能过剩,价格大跌的情况下,推进氟化物产品结构调整势在必行,氟化物公司借助国家科技重大专项的平台,进一步加快科技创新及产业化发展步伐,成功实现由工业级向高纯级、多品种等高性能、高附加值产品转型升级,助推利润提升,并拓展含氟电子特气在半导体领域的应用市场,满足目前和今后一段时期内极大规模集成电路的需求,逐步实现相关产品的国产化。




(摘自黎明化工研究设计院有限责任公司)