协会成员动态：黎明化工研究设计院有限责任公司

公司承担国家科技重大专项进展顺利

日前获悉，公司承担的国家科技重大专项“极大规模集成电路制造装备与成套工艺”之子项目“高纯四氟化碳和六氟化硫研发与中试”，项目研发进展顺利，部分技术已实现产业化应用。

公司接到国家相关项目立项批复后，积极选调科研人员，组建项目团队。项目团队在现有氟化物工艺基础上，勇克难关，不断突破产物合成、精制提纯、杂物分析、洁净充装等关键技术，并投入300余万元建成标准化洁净间，保证产品质量，也为公司含氟电子气体产品的推广搭建良好的展示平台。

截止日前，公司已完成高纯六氟化硫和高纯四氟化碳生产试验，试制出满足指标要求的产品，并通过客户验证，并完成5项专利申请（其中发明专利3项，实用新型专利2项），发表研究论文3篇。

在研发基础上，公司高纯六氟化硫已实现工业化生产，产能已由最初的年产50吨逐步改扩建为1000吨/年，年产值5000万以上，电子级四氟化碳产品也提交客户使用，市场反应良好。

公司相关负责人认为，在工业六氟化硫市场竞争加剧、产能过剩，价格大跌的情况下，推进氟化物产品结构调整势在必行，氟化物公司借助国家科技重大专项的平台，进一步加快科技创新及产业化发展步伐，成功实现由工业级向高纯级、多品种等高性能、高附加值产品转型升级，助推利润提升，并拓展含氟电子特气在半导体领域的应用市场，满足目前和今后一段时期内极大规模集成电路的需求，逐步实现相关产品的国产化。

（摘自黎明化工研究设计院有限责任公司）