【名称】一种具有微结构的聚偏氟乙烯压电薄膜的制备方法

【摘要】本发明属于微纳制造领域，涉及具有微结构的压电薄膜的制备方法：1)在基底上溅射绝缘隔离层，在绝缘隔离层上溅射电极层；2)将聚偏氟乙烯PVDF及其共聚物粉末作为溶质，溶解至混合溶液中，搅拌后，置于真空，密封放置；3)将聚合物溶液旋涂于电极层上，得到聚合物层；4)把旋涂好聚合物溶液的基底放置在热压印台上，将模具压向聚合物层的表面，将模具型腔抽真空，使聚合物层充满模具的型腔；5)在电极层和模具之间施加场电压；6)撤去电场后，控制压印头压向聚合物层，保持压力，降温至80℃，退火处理，得到具有微结构的压电薄膜。本发明用于微传感器和致动器的制造，尤其适宜于生物医疗方面的微传感器和致动器的制造。