【编号】2011-48
　　【名称】聚四氟乙烯清洗花篮改良结构
　　【申请(专利权)人】 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
　　【公开(公告)日】 2011.08.03
　　【公开(公告)号】CN201913087U
　　【摘要】 本实用新型涉及一种应用于半导体清洗工艺中的聚四氟乙烯清洗花篮改良结构，其包括把手和一个以上花篮本体，所述把手上设置一个以上卡槽，所述花篮本体的一侧部设置可与所述卡槽紧密插接配合的突出部。所述卡槽优选采用T型卡槽。所述花篮本体上端面上分布二个以上可以容置硅片的浅槽。所述浅槽的槽底部设置复数个竖直通孔。本实用新型在保有现有聚四氟乙烯清洗花篮各种优点的同时，还可用于同时清洗多品种、多规格的多片小片，且其底部设置的通孔还提高了清洗的效率，再者，利用卡槽，尤其是T型卡槽固定花篮本体和把手，使得清洗花篮更加坚固耐用，且便于安装拆卸，并使得清洗花篮还易于运输和收储。