【编号】2011-16
　　【名称】采用电弧离子镀技术在聚四氟乙烯表面镀导电薄膜的方法
　　【申请(专利权)人】中国航天科技集团公司第五研究院第五一○研究所
　　【公开(公告)日】2011.02.02
　　【公开(公告)号】CN101962748A
　　【摘要】本发明涉及采用电弧离子镀技术在聚四氟乙烯表面镀导电薄膜的方法，属于表面工程技术领域。利用电弧离子镀技术，依次采用加热工件、离子束清洗和镀过渡层的方法，在聚四氟乙烯表面镀导电薄膜，将聚四氟乙烯工件放入到真空室内，加热；导入Ar和O2的混合气体；打开离子源对聚四氟乙烯工件进行离子束清洗；关闭离子源和供气系统，打开Cr或NiCr电弧源，镀Cr或NiCr过渡层；关闭Cr或NiCr电弧源；加脉冲偏压，打开Al、Cu或Au电弧源，镀Al、Cu或Au导电薄膜。本发明在聚四氟乙烯表面镀金属导电薄膜具有薄膜致密、附着牢固、厚度均匀可控和可以实现复杂曲面工件镀膜等优点，达到了工程应用水平。