【编号】2017-99　　

【名称】一种基于PVDF压电薄膜的双向无阀微流泵及其制备方法                                　　

【公开（公告）号】CN107178488A 　　

【公开（公告）日期】2017.09.19　　

【申请（专利权）人】西安交通大学                                　　

【摘要】本发明公开了一种基于PVDF压电薄膜的双向无阀微流泵及其制备方法，包括自上到下依次固定连接的盖板、PVDF压电薄膜、通道层及基板，其中，PVDF压电薄膜的上表面及下表面均设有若干导电膜区，各导电膜区均包括工作区电极及用于将工作区电极与外界电压源相连接的导通区电极，且PVDF压电薄膜上表面上的一个工作区电极正对PVDF压电薄膜下表面上的一个工作区电极，盖板上开设有通孔，通道层上开设有流体通道及两个储液池，其中，流体通道的两端分别与两个储液池相连通，且PVDF压电薄膜上表面上的各工作区电极正对所述通孔及所述流体通道，储液池与外界液体源相连通，该微流泵能够实现无阀双向驱动，切换较为简单，并且制备方法易于实现。