【编号】2020-71
【名称】一种PFA清洗花篮
【公开（公告）号】CN210640198U
【公开（公告）日期】2020.05.29
【申请（专利权）人】深圳市迈捷微科技有限公司
【摘要】本实用新型属于半导体晶片清洗装置技术领域，具体为一种PFA清洗花篮，包括第一侧板、第二侧板、以及设置在第一侧板和第二侧板之间的第一槽齿板和第二槽齿板，第一槽齿板包括第一竖直部、倾斜部和第二竖直部，第一竖直部和倾斜部上设有若干等间距的容置槽，第一竖直部和倾斜部的连接处设有横筋，第一竖直部外侧面的中间部位设有八字形连接骨，八字形连接骨位于容置槽内，相邻两个八字形连接骨交错设置，形成上下两排八字形连接骨。本实用新型解决了现有花篮强度低，易破碎的问题，而且通过在结构上进行改进，使得液体在清洗空间内的流动性更好，通风性更好，达到较好的清洗半导体的目的。 | 
