【编号】2023-21

【名称】一种基于压力波的PVDF压电膜微小脉动流量计及其制作方法

【公开（公告）号】CN115655392A

【公开（公告）日期】2023.01.31

【申请（专利权）人】北京化工大学

【摘要】本发明公开了一种基于压力波的PVDF压电膜微小脉动流量计及其制作方法，包括PVDF压电膜压力波敏感单元、压电信号处理电路、微流道结构、封装结构；所述PVDF压电膜压力波敏感单元制作于微流道两处不同位置的外表面并封装于环氧树脂结构内，用于敏感微流道内脉动流携带的压力波动，将压力波动反映为电荷变化；所述压电信号处理电路，采集PVDF压电膜压力波敏感单元输出的电荷并放大转化成电压信号，同时滤除噪声并筛选信号中有效成分；所述微流道结构为具有一定长度的圆形管道，选取两处外表面制作PVDF压电薄膜包裹层，两端设置通用管道接口，对整体管道使用环氧树脂封装。本发明制作简单、体积小、灵敏度高等，可用于环境检测、生物医学等领域的脉动流量测量。